關於潔淨室
潔淨室(Clean Room)，亦稱無塵車間、無（wú）塵室或清淨室。潔淨室的主要功能為室內汙染控製，沒有潔淨室，汙染敏感零件不可能批（pī）量生產。在FED-STD-2裏麵，潔淨室被定義為具備空氣過濾、分配、優化、構造材（cái）料和裝置的房間，其中特（tè）定（dìng）的規則的操作程序以控製空（kōng）氣懸浮微粒濃度，從而（ér）達到適當的微粒潔淨度級別。潔淨程度和控製汙染（rǎn）的持續穩（wěn）定性，是檢驗潔（jié）淨室質量的核心標準，該標（biāo）準根據區域環境、淨化程度等因素，分為若幹等級，常用的有國際標準和（hé）國內區域行業標準（zhǔn），一些知名淨化工程公司，在通行標準之外，還設有自身執（zhí）行的高於國際化通行（háng）標準的淨化指標，淨（jìng）化能力（lì）和（hé）環境適應力遠超國際品（pǐn）牌。
1簡介
潔淨室是指將一定（dìng）空間範圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之汙染物排除，並將室內之溫度、潔淨（jìng）度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控製在某一需求範（fàn）圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如（rú）何變化，其室內均能俱有維持（chí）原先所（suǒ）設定要求之潔淨度、溫濕度及壓力等性能之特性。
潔淨室最主要之作用在於控製產（chǎn）品（如矽芯片等）所接觸之大氣（qì）的潔淨（jìng）度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境（jìng）空間中生產、製造，此空間我們稱之為潔淨（jìng）室。按照國際慣例，無塵淨化級別主（zhǔ）要是根據每（měi）立方米空氣中粒子直徑大於劃分標準的粒子數量來規定。也（yě）就是說所謂無塵並非100%沒有一點灰塵，而是控製在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵（chén）標準的顆粒相對於我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是（shì）對於光學構造而言，哪怕是一點點（diǎn）的灰塵都會產生非常大的負麵（miàn）影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。
每立方米將小於0.3微米粒徑的微塵數量控製在（zài）3500個以下（xià），就（jiù）達到了國際無塵（chén）標準的A級。芯片（piàn）級生產（chǎn）加工的（de）無塵標準對於（yú）灰塵的要求高於A級，這樣的高標主要被應（yīng）用在一些等級較高芯片生產上。0.5uM及以下的微塵數量被嚴格控製（zhì）在每立方英寸1000個以內，這也就是業內俗稱的1K級別。
空態（tài）：已（yǐ）經建造完成並可以投入使用的潔淨室（設施）。它具備所有有關的服務和功能。但是，在設施內沒有操作人員操作的設備。
靜態：各種功（gōng）能完備、設定安裝妥當，可以按照設定使用或正在（zài）使用的潔淨室（設施），但是設（shè）施（shī）內沒有操作人員。
動態：處於正常使用的潔淨室，服務功能完善（shàn），有（yǒu）設備和人員；如果需要，可從事正常的工作。
單向流（層流（liú））潔淨室原理
在潔淨室內，從送風口到回風口，氣流流經途中的斷麵（miàn）幾乎沒有什麽變化，加上進風靜壓箱和高效過濾器的（de）均壓均流作用，全室斷麵上的流速比（bǐ）較均勻，而至少在（zài）工作區內流線（xiàn）單向平行，沒有渦流。這也（yě）就是單向流潔淨室的三大特點。這裏的流線單向平行，是指時（shí）均流線彼此平（píng）行，方向單一。
單向流潔淨室的流態從雷諾數判斷是紊流的，所以所謂（wèi）層流潔淨（jìng）室的（de）層流和流體（tǐ）力學上（shàng）的層流是完全不同的（de）概念。因此，層流潔淨室這個名（míng）詞是不貼切的，國外某些標（biāo）準和文章（zhāng）也指（zhǐ）出這一點，例如英國標準BS-5295就曾把所謂層流潔淨室定義為單向流潔淨室，隻是照顧習慣在括號中（zhōng）注明為層流。前聯（lián）邦德國標準VDl- 2083則（zé）用“非紊流的置換流”這一（yī）術語，並在注中指出，層流這一概念隻是為了區別早於（yú）層流潔淨室出（chū）現的（de）紊（亂）流潔淨室而在當時采（cǎi）用的習慣用語，“層流係統”的確（què）切意思並不是（shì）分層流動，而是紊流的置換（huàn）流，用本章提到的概念（niàn）是紊（wěn）流的漸變流。在（zài）流體（tǐ）力學（xué）中，這種流動狀態也可稱平行流或單向流。1977年（nián）中國在《空氣潔淨技術措（cuò）施》中選用（yòng）了“平行流（liú）”這個術語，在該術語後麵同時也指出習慣上稱“層流”。
在單向（xiàng）流潔淨室內，幹淨氣流不是一股或幾股，而是充滿全室斷麵，所（suǒ）以（yǐ）這種潔淨室不是靠（kào）潔淨氣流對室內髒空氣（qì）的摻混稀釋作（zuò）用，而是靠潔淨（jìng）氣（qì）流推出作用將室內髒空氣沿整個斷麵排至室外，達到淨化（huà）室內空氣的目的。所以，前聯邦德國有人稱單向流潔淨室的氣流為“活塞流”、“平推流”前蘇聯稱之為“被擠壓的弱空氣射流”。幹淨空氣就好（hǎo）比一個空氣活塞，沿著房間這個“氣缸”，向前（下（xià））推進，而使塵粒隻能前（下）進，沒有返回，把原有的含塵濃度高的空氣擠壓出房間。
在單向流（liú）潔淨室以及單向流淨化設備中，可以發現沿壁的和兩個過濾器搭接處下方的反向氣流。這種氣流將把下方的汙染傳輸到上部再送下來，破壞了上述“活塞流（liú）”的狀態，危害極大。對於和外界（jiè）有開（kāi）口相通的局部淨化設備，例如潔淨工（gōng）作台（tái），這種氣流將引射外界汙染（rǎn）氣流（liú），在設計（jì）上一定要減小過濾器邊框處（chù）所占的無效麵積，更要設（shè）法使空間的壁麵盡量接近過濾器有效迭風（fēng）截麵。
通過上（shàng）麵分（fèn）析，可以認為保證單向流潔淨室特性（高潔淨度和快（kuài）速自淨恢複（fù）能力）的重要先決條件有兩個：①來流的潔淨度；②來流的活塞流情況；
對（duì）於來流的潔淨度，對通過高效（xiào）以上過濾器送風的單向流潔淨（jìng）室（shì）來說是不成問題的（de），而（ér）對（duì）於（yú）來（lái）流的“活塞流”情況，則需作進～步分析。
根據流體力（lì）學原理，來流條件對以後的流動狀況將有直接的重（chóng）要影響，送（sòng）風（fēng）麵出口氣（qì）流也就是工作區（qū）的來流。
來流的紊動性大（dà），則將影響後麵的單向（xiàng）流特性；來流未充滿流動截麵，則將影響後（hòu）麵是否能形成“活塞流”和形成的（de）快慢；而來流（liú）未充滿流動截麵（miàn）也是來流素動的一個（gè）因素。所以，在采（cǎi）用高效（xiào）過濾器的條件下，保證（zhèng）單向流潔淨室特性的（de）必要條件是“活塞流”，而（ér）“活塞流”的必要條件則是來流（liú）充滿流動截麵。但是，對一間房（fáng）間而不是一段管道來說，讓氣流從頭至（zhì）尾完全充滿流動截麵也是不現實的。
最初，確實認（rèn）為這種單（dān）向（xiàng）平行（háng）的氣流（liú）應該充滿整個潔淨室，但這在技術上和經濟上都是不利的。隨著（zhe）認識的發展，人們又指出這種（zhǒng）單向流（liú）隻是“在有限的領域內全部空氣沿平（píng）行流線以等（děng）速流動的（de）意思”，並認為能極力（lì）抑製渦流的（de）發生。通過全（quán）空間的（de）清潔空氣的單（dān）向流特性（xìng）占支（zhī）配地位（wèi）的那樣的房間（jiān），也稱為單向流潔淨室。這就是說，不（bú）要求在整個房間都具（jù）有單向平行的流線，均勻的速度，沒（méi）有（yǒu）渦流，而是隻要求單向平行流特性在這個房間中占支配地位，例（lì）如在整個工（gōng）作區這（zhè）一層空間保證了單向流，這個房間就（jiù）是單向流潔淨室。前麵（miàn）介紹過的國內外有（yǒu）關標準、措施中關於單向流潔淨室達到的高潔淨度，就是指（zhǐ）在工作區內達到的潔淨度。因此，密集布置的流（liú）線型散流器頂送和全（quán）孔板頂送，也被作為實現垂直單向流的手段使用。
亂（luàn）流（liú）原理
潔淨（jìng）室按其氣流狀態來區分，主要分為（wéi）亂流（非單向流）潔（jié）淨（jìng）室、單向流潔淨室和（hé）輻（fú）流潔淨室（也有稱矢流潔淨（jìng）室的），這一節主要討論亂流潔淨（jìng）室。前麵（miàn）已經指出，不論是哪一種潔淨室，都是紊流流態（tài）。那為什麽不都叫紊流潔淨室呢？
亂流潔淨（jìng）室的名稱是借（jiè）用於日文，但是日文的（de）亂流就（jiù）是紊（wěn）流的意（yì）思（sī），而中國最（zuì）早在《空氣潔淨技術措施》中（zhōng）正式采用的（de）亂流一詞是兼有紊流的含義而不（bú）同於流體力（lì）學上的紊流這一專有名詞。國際上習慣稱這種潔淨室（shì）為（wéi）非單向（xiàng）流潔淨室（shì）。
所謂亂流潔淨室，一般包括以（yǐ）下各種送風形（xíng）式：
⑴高效過濾器頂送（有擴散板和無擴散板
⑵流（liú）線型（xíng）散流器頂進
⑶局部孔板頂送
⑷側送
具有這些送風形（xíng）式的潔淨室，如以（yǐ）雷諾數判斷，顯（xiǎn）然屬於紊流流態，但是如果把它們稱為紊流潔淨室就不合適。氣流沿（yán）整個頂棚下送，室內速（sù）度達到0.25m/s 以上（shàng），這種室內的流動狀態也是紊流，但在後麵就會搞（gǎo）清楚，雖然這兩種送風方式都造成室內紊流（liú）流態，但是就其淨化（huà）室內空氣的原理來（lái）說，卻是根本不同的，後者屬於單向流或平行流（liú）潔（jié）淨室的淨化原理。所以如果把前者稱為紊（wěn）流潔淨室，則後者也應被包含進（jìn）去了。
亂流潔淨室的主要（yào）特點是從來流到出流（從送風口到回風口）之間氣流的流通截麵是變化的（de），潔淨室截麵比送風口截（jié）麵大得多，因而不能在全室截麵或者在全室工作（zuò）區截麵形（xíng）成勻速氣流。所以，送風口以後的流線彼此有很大或者越來越大的（de）夾角，曲率半徑很小，氣流在室內不可能以單一方向流動，將會（huì）彼此撞擊，將有回流、旋渦（wō）產生。這就決定亂流潔淨室的流態實質是：突變（biàn）流；非均勻流。
這比用紊流來描述亂流潔淨室更確切、更全麵（miàn）。紊流主要（yào）決定於雷諾數，也就（jiù）是主要受流速的影響，但是如果采用一個高效過濾器頂送的送風形式，則即使（shǐ）流速極低，也要產生上述各種（zhǒng）結果，這就因為它是一（yī）個突（tū）變流和非均勻流。因此這種情況下（xià）不僅有流層之間因紊流流動而（ér）發生的（de）摻混，而且還有全室範圍內的大的回流、旋渦所發生的摻混。
所以，概括地說，亂（luàn）流潔淨室的作用原理是：當一股幹淨氣流從送風口送入室內時（shí），迅速向四周擴散、混合（hé），同時把差不多（duō）同樣數量的氣流（liú）從回風口排走，這（zhè）股幹（gàn）淨氣流稀釋著室內汙染的空氣，把原（yuán）來含塵濃度很（hěn）高的（de）室內空氣衝淡了（le），一直達（dá）到平衡。所以氣流擴散得越快，越均勻，稀釋的效果就越好。所以亂流潔淨室的原（yuán）理就是稀釋作用。
2所（suǒ）需材料
潔淨室在進行淨化（huà）工（gōng）程施工的時候，需要用到以下設備：
A． 裝飾結構類（lèi）：
1：潔（jié）淨室（shì）所需要的淨（jìng）化設備主（zhǔ）要有：風淋室貨淋室（shì） 層流（liú）罩（zhào）（FFU）傳遞窗高效送風口（分為普通（tōng）高（gāo）效（xiào）送風口，一體化高效送風口，可更換濾網的（de）高效送風口） 泄壓閥 風量調（diào）節（jiē）閥等，潔淨室做好後有的局部淨（jìng）化級（jí）別要求特別高，因此我們推薦客戶使用潔淨工作（zuò）台，潔淨棚等淨化設備。
2：圍體結構彩鋼板（各（gè）種鋁型材 槽鋁 T型大梁鋁 角鋁 外形柱鋁 外圓片 三維接頭 門堵頭 內圓弧線 門料 窗料等） 輔（fǔ）助材（cái）料角鐵（tiě） 圓鋼 膠塞（sāi） 白功釘 拉（lā）爆鉤等（děng））
B．空調（diào）通風部分：
1.空調通風部分主要（yào）材料有空調主機，送回風管，鍍（dù）鋅水管（或者（zhě）PVC水管） 水塔 閘閥水泵 Y型過濾（lǜ）器 橡膠（jiāo）軟管 止回閥 水流開關 溫度計 壓力表 水過濾器 各種管碼
2：通風部分（fèn）的主（zhǔ）要（yào）材料有中效（xiào）增（zēng）壓箱 風閥 風量調節閥（fá） 初效防雨百葉 風回百葉 初效（xiào）過濾器 中效過（guò）濾器 高效過濾器 層流罩（FFU） 保溫棉 保濕軟管 各種輔材
C． 電器部分：
1、空（kōng）調電路
  2、淨化設備電路
  3、照明電路
D． 地麵部分（fèn）：
   1、環氧樹脂地坪
  2、PVC地（dì）板
  3、高架地板地麵
3所需設備
風淋室（shì）
風淋室係列產品是一（yī）種通用性較強的局（jú）部（bù）淨化設備，安裝於潔淨室與非潔淨室之間。當人與貨物要進入潔淨區時（shí）需經風淋室吹淋（lín），其吹出的潔淨空氣可去除人與貨物所攜帶的塵埃，能有效的阻斷或減少（shǎo）塵源進入潔淨區。風淋室/貨淋室的前後兩道門為電子互鎖，又（yòu）可起到氣閘的作用，阻止未淨化的空（kōng）氣進入潔淨區域。
貨淋室
貨淋室，固名思義，即為（wéi）貨物專用的吹淋室，又稱之為貨淋通道、貨淋門、廣泛適用於電子，食品（pǐn）、包裝企業的（de）物流通道處，對即將進入潔（jié）淨車間（jiān）進行操作加工的貨物原材料及工具進行吹淋，達到過濾去除灰塵粒子（zǐ），進入無塵車間（jiān）的原材料潔淨的效果（guǒ）.因每個企業物流通道的現場尺寸以及需要吹淋（lín）的貨物（wù）原材料運輸方式大小的不同，故貨淋室沒有統一的標準，全部為非標產（chǎn）品。貨淋在功能上既有普（pǔ）通型貨淋室，又有紅外線語音提示型貨淋室，還有自動移門式貨淋室。
傳遞窗
傳遞窗主要適用（yòng）於潔淨區與非潔（jié）淨區之（zhī）間，或（huò）潔（jié）淨（jìng）室與潔淨室之間的小貨物傳遞，可有（yǒu）效的（de）減少潔淨室門（mén）的（de）開啟次數，把潔淨（jìng）區的汙染（rǎn）減少的最低程度。根據使用要求，傳（chuán）遞窗箱體（tǐ）表（biǎo）麵可（kě）噴塑，內（nèi）膽可用不鏽鋼，外表美觀。傳（chuán）遞（dì）窗的兩扇門（mén）采用（yòng）電控連鎖或機械（xiè）連鎖（suǒ）裝置，可有效的防止低潔淨等級區內的灰塵帶入高（gāo）潔淨區內，是淨化車（chē）間（jiān）必備佳品。
高效送（sòng）風口
本產品為萬級，十萬級亂流潔淨室新建，改建工程（chéng）淨化空調係統終（zhōng）端送風裝置。可廣泛應用與（yǔ）電子工業，精密機械，冶金，化工等工業及醫（yī）療，製藥，食品等部門的淨化空調係（xì）統。本裝（zhuāng）置主要由靜壓箱，高效過濾器，鋁合金擴散板，標準法蘭接口等組成（chéng），造型美觀，結構簡單，使用可靠。 本送風口為下裝式，具有在潔淨室內（nèi）安裝和更換過濾器方便的優點，高效過濾器采用機械壓（yā）緊或液槽密封裝置，確保風口安裝無泄露，密封可靠，淨化效果好，對一般淨化工程均可適用。
潔淨工作（zuò）台
無塵車間內的潔淨工作台可根據產品要求（qiú）或其他用（yòng）途（tú）的要求，在操（cāo）作台上保持高潔（jié）淨度的局部淨化。潔淨工作台可以在操作台的局部空間形成無菌、無（wú）塵的局部淨化，其主（zhǔ）要組成部件有預過濾器、高效過濾器、風機機組、外殼、靜（jìng）壓箱、台麵和配套的電器（qì）元（yuán）器件等。
  無塵（chén）車間的潔淨工作台的構（gòu）造要求：台麵，采用木質塑料貼麵貼於層壓板上做成台麵，或采用不（bú）鏽鋼做台麵；箱體，用熱紮薄鋼板與骨架氣焊易變形，可采用冷（lěng）軋薄板折邊搭接，大電流電（diàn）焊，內表麵需粘貼消聲材料，最大尺寸（cùn）應以通過（guò）一般房門為宜；箱體密封，所有縫（féng）隙均采用密封膠密封；操作區截麵應盡可能與（yǔ）空氣過濾器送風截（jié）麵相同，盡量減少盲區；風機（jī）、電機，選用高壓低噪的小（xiǎo）型風（fēng）機，風機與箱體的連接采（cǎi）用軟連接，電機（jī）及風機均應采取減振措施；燈罩，日光燈要盡量設置在燈罩（zhào）內（nèi），燈罩內要通過潔淨氣流；預過濾器，須設置預過濾器，容量要大，在（zài）使用風量下，初阻力宜小於50Pa；高效過濾器，盡量采（cǎi）用大麵積的過濾器（qì），減少空氣過濾器的數量，過濾器（qì）與框架之間（jiān）的密封應采用封導結合的雙環密封係統。
FFU風機過濾單元
風機過濾單元（FFU）是一種空氣自淨裝置，可室內（nèi）吊頂安裝或放（fàng）置在支（zhī）架上，使局部級別達（dá）到百級。也可用於（yú）潔淨室末端送（sòng）風。該產品設有初、高效兩級過濾裝置（zhì）。風（fēng）機從頂部將（jiāng）空氣吸入並經初、高效（xiào）過濾器過濾（lǜ），過濾後的潔淨空氣（qì）在整個出風口送出。安裝方式有（yǒu）懸掛式和落（luò）地支架兩種。
  風機從FFU頂部將空氣（qì）吸入（rù）並經（jīng）初、高（gāo）效（xiào）過濾器過濾，過濾後的潔淨空氣在整個出風麵以0.45M/S±20%的風速勻速送出。它為（wéi）不同尺寸大小，不同潔淨度等級的潔淨室、微環境提供高質量的潔淨空（kōng）氣。在新建潔淨室、潔（jié）淨廠房式（shì）改造翻新中，即可提高潔淨度級（jí）別，降低噪音和振動，也可大大降低造價，安裝維護（hù）方便，是潔淨環境的理想部件。
層流罩
層流罩一種可提供（gòng）局部高清潔環境的空氣淨化設備。它主要有箱體（tǐ），風機，初效空氣（qì）過濾（lǜ）器，高（gāo）效空氣過濾器。阻尼層，燈具等組成，箱體（tǐ）噴塑或采用不鏽鋼材料。該產（chǎn）品即可以懸掛，又可地麵（miàn）支撐，結構緊湊，使用方便。可（kě）以單個使用，也可多個聯接組成帶狀潔（jié）淨區域。廣泛用於精密機械，電（diàn）子（zǐ），製藥，食品，精細化工等部門。
4控管項目（mù）
1、能除去空氣中飄遊之微塵粒子。
2、能防止微（wēi）塵粒子之產生。
3、溫度和濕度之（zhī）控（kòng）製。
4、壓（yā）力之調節。
5、 有害氣體之排除。
6、結構（gòu）物與隔間之（zhī）氣密性。
7、靜電之防製。
8、電磁幹擾預防。
9、安全因素之考（kǎo）慮。
10、節能之（zhī）考量。
5淨化（huà）方法（fǎ）
空氣淨化方（fāng）法
1 、整體（tǐ）淨化：可分為層流型和湍流型。層流是指空氣由一側全麵地以同速流（liú）向另一側，使室內產生的（de）塵粒或細菌（jun1）不會（huì）向四周擴（kuò）散而被（bèi）平推出室外，而達到好（hǎo）的除菌效果。
⑴高效過濾除菌技術：空氣潔淨主要靠高效或超高效過濾設備，向特定的環境內輸送潔淨空氣並能保持空氣的潔淨度。過濾潔淨原理：①網截（jié）阻留；②篩孔阻留；③靜電吸引阻留；④慣性碰撞和布朗運動阻留。因此，過濾潔淨技術是一種綜合作（zuò）用的（de）結果。
⑵濾材結構：生物潔淨室所用濾材級（jí）別多（duō）數為高效或超（chāo）高效濾材，所用濾材有：玻璃棉製濾材、高級（jí）紙漿製濾材、石棉纖維（wéi）濾（lǜ）材、過（guò）氯（lǜ）乙烯纖維濾材等。高效濾材（cái）對空氣（qì）中 0.5 μ m 的顆粒的阻留率能達到 90%~99% ，超高效（xiào）濾材可阻留 0.3 μ m 的顆粒 99.9% 以上。
2 、局部淨化（huà）
⑴潔淨層流罩（zhào）：潔淨層流罩是醫院局部空氣淨化裝置。一般可構成垂直層流方式，四周用透明圍幕。整個罩內可保持高潔淨度（萬級至百級）空氣。這種潔淨層流罩可用於免疫功能低下病人的治療保護，所以也稱無菌病（bìng）床層（céng）流罩。
⑵淨化操作台（tái）：采用水平或（huò）垂直（zhí）層流方式淨化箱體內的空氣，可使操作台內（nèi）淨化達到（dào）很高級別。
⑶靜電吸附除菌（jun1）淨化技術：靜電吸附除菌是利（lì）用工業電除塵的（de）原理（lǐ），在小型化技術方麵有所創（chuàng）新。①采（cǎi）用細線放電極與蜂巢（cháo）狀鋁（lǚ）箱收集極形成級線裝置；②采用鏡象力荷電（diàn）吸（xī）附作（zuò）用。
目前有一種三級淨化裝置，即預（yù）過濾 - 高效過濾 - 活性炭吸附，組合式正離子靜（jìng）電吸附除菌，並（bìng）采用大風量空氣淨化，以保證室內空氣淨化次（cì）數，較好（hǎo）地解決了醫院重點部門如手（shǒu）術室、 ICU 、母嬰（yīng）病房、血液透（tòu）析（xī）室等有人情況下的空氣持續消毒問題，可使（shǐ）醫院室內空氣的淨化潔淨度達到（dào） 10 萬級 ~1 萬級。
⑷負離（lí）子淨化技術：負離子是一種帶負電的（de）化學基團，能發生可逆性變化，存（cún）在時間極短，本身並無殺滅微生物的能力，主要是靠帶電離子與空氣中（zhōng）的微粒特別是微生物（wù）顆（kē）粒結合，形成多個顆粒凝聚變大（dà）從而迅速（sù）沉降，使空氣達到淨化的（de）目的。空氣中負離子隻有在具備某些化學性質時，如活性（xìng）氧離子等，它們才具有（yǒu）侵害蛋（dàn）白質的能力從而殺滅微生物，因此負離子對空氣淨化的能力比較（jiào）有限，對（duì）空氣中微生物粒子清除率隻能達到 70%~90%。
6工作方式
亂流式
空（kōng）氣由空調箱經風管與潔淨室內（nèi）之空氣過濾器（HEPA)進入潔淨室，並（bìng）由潔淨室兩側（cè）隔間牆板（bǎn）或高架地板回風。氣流非直線型運（yùn）動而呈不規（guī）則之亂流或渦流狀（zhuàng）態。此型式適（shì）用於潔淨室等級1,000-100,000級。
定（dìng）義：氣流以不均（jun1）勻（yún）速度不平行流動、伴有回流或（huò）渦流的潔淨室。
特性：亂流潔淨室是靠多次換氣來實現潔淨與潔淨（jìng）級別。換氣（qì）次數決定定義中的淨化級別（換氣次數越多，淨化級別越高）
⑴自淨時間：是指潔淨室按設計換氣（qì）次數開始送（sòng）風到潔淨（jìng）室，室內含塵濃度（dù）達（dá）到所設計的淨化級別的時間。1,000級希望不超過20min（分鍾） （可取15min計算） 10,000級希望不超過30min（分鍾） （可取25min計算） 100,000級希（xī）望不超過40min（分鍾） （可取30min計算）
⑵換氣次數（按上述自淨時間要求設計）1,000級 43.5—55.3次/小時（shí） （規範：50次（cì）/小時（shí）） 10,000級 23.8—28.6次/小時 （規範（fàn）：25次/小時） 100,000級 14.4—19.2次（cì）/小時 （規範：15次/小時）
優點：構造簡單、係統建造成本，潔淨室之擴充比較容易（yì），在某些特殊用途場所，可（kě）並用無塵工作台，提高潔淨室等級。
缺點：亂流造成的微塵粒子於室內空間飄浮不易排出，易汙染製程產品。另外若係統停止運轉再激活（huó），欲達需求之潔淨度，往往須耗時相當長一段時間。
層流式
層流式空氣氣流運動成一均勻之直線（xiàn）形（xíng），空氣由覆蓋（gài）率100%之過濾器進入室內，並由高（gāo）架（jià）地板或兩側隔牆板回風，此型式適（shì）用於潔淨室等級（jí）需定（dìng）較高之環境（jìng）使用，一般其潔淨室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：
⑴水平層流式：水平式空氣自過濾（lǜ）器單方向吹出，由對邊牆壁之回風（fēng）係統回（huí）風，塵埃隨風（fēng）向排出室（shì）外，一般在下流側（cè）汙染較嚴重（chóng）。
優點：構造簡單，運轉後短時間內即可變成（chéng）穩定。
缺點：建造費用（yòng）比亂流式（shì）高，室內空間（jiān）不易擴（kuò）充（chōng）。
⑵垂直（zhí）層流式：房（fáng）間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋（gài），空氣由上往下吹，可得較（jiào）高之（zhī）潔淨度，在製程中或工作人員所產生的塵埃可（kě）快速排出室外而不會（huì）影響（xiǎng）其它工作區域。
優點：管理容易，運轉開始（shǐ）短時間內即可達穩定狀態，不易為作業狀（zhuàng）態或作業人員所影（yǐng）響（xiǎng）。
缺點：構造費用較（jiào）高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間（jiān），維修更換過濾器較麻（má）煩。
複合（hé）式
複合式為將亂流式及層流式予以複合或（huò）並（bìng）用，可提供局部超潔淨之空氣。
⑴潔淨隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將製（zhì）程區域或工（gōng）作區域100%覆蓋使潔淨度等級提高至10級以上，可節省（shěng）安裝運轉費用。
此型式需將作業（yè）人員之工（gōng）作區（qū）與產品和機（jī）器維（wéi）修予以隔離，以避免機（jī）器維修時影響了工（gōng）作及品質，ULSI製程大都采用此種型式。
潔淨隧道另有二項優點：A.彈性擴（kuò）充容易； B.維修設備時可在（zài）維修區輕易執行。
⑵潔淨管道（Clean Tube）：將產品流程經過的自動生產線包圍並淨化處理，將潔淨度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔（gé）離，少量之送風即可得到良好之潔淨度，可（kě）節省能源，不需人工的自動化生產線為最適宜使用。藥品、食品（pǐn）業（yè）界及半導體業界均適用。
⑶並裝局部潔淨室（Clean Spot）：將潔淨室等級（jí）10,000~100,000之亂流潔淨室（shì）內之產品製程區的潔淨度（dù）等（děng）級提高（gāo）為10~1000級以上，以為生產之用；潔淨（jìng）工作台（tái）、潔淨工（gōng）作棚、潔淨風櫃即屬此類。
潔淨工作台（tái）：等級Class 1~100級。
潔淨工作棚（péng）：為在亂流式之潔淨（jìng）室空間內以（yǐ）防靜電之（zhī）透明塑料布圍成一小空間，采用獨立（lì）之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較高級（jí）之潔（jié）淨空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋麵積約10m2以下，四（sì）支支柱並加裝活動輪，可為彈性運用。
7風速控製
潔淨室內的氣流是左右潔淨室（shì）性能的重要因素，一般潔淨室（shì）的氣流速度（dù）是選0.25~0.5m/s之間，此氣流（liú）速度屬微風區域，易受人（rén）、機器（qì）等的動作而（ér）幹擾趨於混亂、雖提高風速可抑製此一擾亂之影響（xiǎng）而保持潔淨度、但因風速的提高（gāo），將影響運轉成本的增加，所以（yǐ）應在滿足要（yào）求的潔淨度水準之時，能以最適當的風速供應，以達到適（shì）當的風速供應以達到經濟（jì）性效果。
另一方（fāng）麵欲達到潔淨室潔淨度之穩（wěn）定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若（ruò）無（wú）法保持，表示風速有異，特別是在壁麵，氣流會延著壁麵發生渦流作用，此時要實現高潔淨度事實上很困（kùn）難。
垂直層流式方（fāng）向要保持均一氣（qì）流必須：（a）吹出麵的風速不可有速度上的差異；（b）地板回風板吸入麵之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高（0.2m/s，0.7m/s）均有渦流之（zhī）現象發生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，一般潔淨室，其風速（sù）均取在0.25~0.5m/s之間。
8影響因素
影響潔淨室的氣流因素很多，如製程（chéng）設（shè）備、人員、潔淨室組裝材、照（zhào）明器具等（děng），同時對於生產設備上方氣流的分流點，亦應列入考慮因素。
一般操作台或生產設備等表麵的氣流分流（liú）點，應（yīng）設於潔淨室空間與隔牆板間（jiān）距2/3之處，如此可使（shǐ）作業人（rén）員工作時，氣（qì）流可從製程區內部流向作業區，而將微塵帶走；若分流點配置（zhì）在製程區前方，將成為不當的氣流分流，此時大部份的氣流將流至製程區之（zhī）後，作業員操作所引起的塵埃將被帶到設備後麵，工作（zuò）台因而將受到汙染，良（liáng）率也勢必降低。
潔淨（jìng）室內（nèi）的工作桌等障（zhàng）礙物，在相接處均會有渦流現象發生，相對地（dì）在其附近之潔淨度（dù）將會（huì）較（jiào）差，在工作（zuò）桌麵鑽上回風孔，將使渦流現象減少最低；組（zǔ）裝材（cái）料之選擇是否恰（qià）當、設（shè）備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現（xiàn）象之重要因素。
潔淨（jìng）室的構成是由下列各項係統所組成（在所組成的係統（tǒng）分子中是缺一不可的），否（fǒu）則將無法構成一完整且品質良（liáng）好的潔（jié）淨室：
⑴天花板係統：包括吊杆（Ceiling rod）、綱梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格（gé）子梁（Ceiling grid或（huò） Ceilingframe）。
⑵空調係統：包括空氣艙、過濾器係統、風車等。
⑶隔（gé）牆板（Partitional wall）：包括窗戶、門。
⑷地板：包（bāo）括高架地板或防靜電舒美（měi）地（dì）板。
⑸照明器具：包括日光燈、黃色燈（dēng）管等。
潔淨（jìng）室之建築（zhù）主體構造，一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構造，必須滿（mǎn）足如下之條件：
●不會因溫度變化與振動而發生裂痕；
●不（bú）易產生微塵粒子，且很難附著（zhe）粒子；
●吸濕性小；
●為了維持室內之（zhī）濕度條件，熱絕緣性要（yào）高。
9重要性
潔淨室的潔淨度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建築結構等所產生的塵埃之移動、擴散受到氣（qì）流的支配。
潔（jié）淨室係利用HEPA、ULPA過濾空氣，其塵埃的收集率（lǜ）達99.97~99.99995%之多，因此經過此過濾器過濾的空氣可說十分幹淨。然而潔淨室內除了人以外，尚有機器等之發塵源，這些發生的塵埃一旦擴散，即無（wú）法保（bǎo）持潔淨空間，因此必須利（lì）用氣流將發生的塵埃迅速排出室外。
10應用領域
工業
以無生命微粒的控製為（wéi）對象。主要控製空氣塵埃微粒對（duì）工作對（duì）象的汙染，內部一般保持正壓狀態。它適用於精密（mì）機械工業（yè）、電子工業（半導（dǎo）體、集成電路等）宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光（guāng）磁產（chǎn）品工業（光盤、膠片、磁帶生產）LCD（液（yè）晶玻璃）、電（diàn）腦硬盤、電腦磁（cí）頭生產等多行業。
生物
主要控（kòng）製有生命微（wēi）粒（細菌）與無生命微粒（塵（chén）埃）對工作對象的汙（wū）染。又可分為：
A、 一般生物潔淨室（shì）：主要控製微生物（細菌）對象（xiàng）的汙染。同時其內部材料要能經受各種滅（miè）菌劑侵蝕（shí），內部一般保證正壓。實質上其內部材料要能經受各種滅菌處理的工（gōng）業潔淨室。例：製藥工（gōng）業、醫（yī）院（手（shǒu）術室、無菌病房）食品（pǐn）、化妝品、飲料產品（pǐn）生產、動物實驗室、理化檢驗室（shì）、血站等。
B、 生物學安全潔淨（jìng）室：主（zhǔ）要控製工作對象的有生命微粒對外界和人（rén）的汙染。內部要保持與大氣的負壓。例：細菌（jun1）學、生物學、潔淨實驗室（shì）、物物工（gōng）程（重組基因、疫苗製備）。
相關知識
11工作量（liàng）
發塵量（liàng）
潔淨室內的發（fā）塵量，來自設備的可考慮通過局部排風排除，不（bú）流入室（shì）內；產品，材料等在運送過程中的發塵與人體發塵量相比，一般極小，可忽略；由於金屬半（bàn）壁（彩鋼夾心板）的應用來自建築表麵的發塵也很少，一般占10%以下（xià），發塵主（zhǔ）要來自人，占90%左右（yòu）。在人的發塵量上，由於服（fú）裝材料和樣（yàng）式的改進，發塵絕對量也不斷減少。
A、材質：棉質發（fā）塵量最大，以下（xià）依次為棉、的確（què）良（liáng）、去靜電純（chún）滌綸、尼龍。
B、樣式：大掛式發塵量最大，上下分（fèn）裝（zhuāng）型次之，全罩（zhào）型最少。
C、活動：動作時的發塵量一般達到靜（jìng）止時間3-7倍（bèi）。
D、清洗：用溶劑洗滌的發塵量降至用一（yī）般水清洗的五分之一。
室內維護結構表麵發塵量，以地麵為準，大約相應8平方米地麵時的表麵發塵量與一個靜止的人的（de）發（fā）塵量相當（dāng）。
發菌量
工作人員產生的汙染：
1）皮膚：人類通常每四天完成一次皮膚的完全脫換，人類每分鍾脫落約1000片皮膚（平均大小為30*60*3微米）
2）頭發：人類的頭發（直徑約為50~100微米）一直在脫落（luò）。
3）口水：包（bāo）括鈉、酶、鹽、鉀、氯（lǜ）化物及食品微粒。
4）日常衣物：微粒、纖維、矽土、纖維素、各種化學品和細菌。
5）人類靜止和坐立每分鍾將產生10000個（gè）大於0.3微米的微粒。
6）人類在頭部和軀幹做（zuò）動作時每分鍾將（jiāng）產生1000000個大於0.3微米的微粒。
7）人類以0.9m/s的（de）速度行走時每分鍾將產（chǎn）生（shēng）5000000個大於0.3微米的（de）微粒。
分（fèn）析國外試驗資料可以認為：
⑴ 潔淨室內當工（gōng）作人員穿無菌服時：
靜止時的發菌量一般為10-300個/min.人
軀體一般活（huó）動時的發菌量為 150-1000個/min.人
快步行走時的發菌量為 900-2500個/min.人
⑵ 咳嗽一次一（yī）般為 70~700個/ min.人
噴嚏一次一般為 4000~62000個/ min.人
⑶ 穿平常衣服時發菌（jun1）量 3300~62000個/ min.人
⑷ 無口罩發菌量（liàng）：有口罩發菌量 1:7~1:14
⑸ 發菌量：發塵量 1:500~1:1000 據國內事例：
⑹ 手術中人員（yuán）發菌（jun1）量 878個/ min.人
所以，可知潔淨室內無菌（jun1）衣人員的靜態發菌（jun1）量一般不超過300個/ min.人，動態（tài）發菌（jun1）量（liàng）一般不超過1000個/ min/人，以此作為計算依據是可行的。
12執行標準
國內標準
⑴.潔淨廠房設（shè）計（jì）規範（fàn） GB50073-2001
⑵.醫院潔淨手（shǒu）術部建築技（jì）術規範GB50333-2002
⑶.醫藥工業潔淨廠房設計規範GB 50457-2008
⑷.傳染病醫院建築設（shè）計規範
⑸.醫藥工業潔淨室（區）懸浮粒（lì）子的測（cè）試方法GB/T16292-1996
⑹.QS認證質量手冊
⑺.GMP藥品生產質量管理規範
⑻. 潔淨室施工及驗收規範GB 5091-2010
際標（biāo）準
ISO係列
⑴ISO14644-1空氣潔淨度等級劃分
⑵ISO14644-2 為認證ISO14644-1的 連續的相符（fú）性的測試和監測技術要求
⑶ISO14644-3 測試方法
⑷ISO14644-4 設計建造啟動
⑸ISO14644-5 運行（Operations)
⑹ISO14644-6 術語和定義
⑺ISO14644-7 分離裝置（潔淨空氣罩（zhào）、手套箱、分離器和（hé）微循環（huán）設備
⑻ISO14644-8 分子汙染
⑼ISO14644-9 潔淨化學品（液體）
IEST係列
潔淨空氣：
RP-CC001高效與超高效過濾器
RP-CC002單向流裝置
RP-CC006潔淨室測試RP-CC007超高效過（guò）濾（lǜ）器測試
RP-CC008氣體吸收裝置（zhì）
RP-CC021高效與超高效過濾器過濾器介質測試
RP-CC034高效與超高效過濾器過濾器檢漏
潔淨室與潔淨環境（jìng）：
RP-CC006潔淨室測試
RP-CC012潔（jié）淨室設計要點
RP-CC016潔淨（jìng）室非揮（huī）發（fā）性殘（cán）留物質的沉積率
RP-CC018潔淨室管理運行與檢測程序
RP-CC022潔淨室與受控環境中的靜電
RP-CC023潔淨室中的微生物
RP-CC024微電子設備震動測量與說明
RP-CC026潔淨室運（yùn）行
RP-CC027潔淨室與受控環境中人員（yuán）與行為
特殊應用：
RP-CC029使用噴漆器要考慮（lǜ）的汙染控製因（yīn）素
運行保障：
RP-CC003淨室與（yǔ）受控環境的（de）服裝係統要點（diǎn）
RP-CC004淨室與受控環境用抹（mò）布材料評估
RP-CC005淨室與受控環境用手套和指套
RP-CC020潔淨室文件材料與（yǔ）格式
設備（bèi）：
RP-CC002單向流裝置
RP-CC013設備校準與檢驗程序
RP-CC015潔淨（jìng）室（shì）生產設（shè）備與輔助設備
術語：
RP-CC011汙染（rǎn）控製領域術語和定義
文獻：
RP-CC009汙染控製領域（yù）的標準、準則、方法與相關文件概覽
詳細參（cān）數
潔淨標準與潔淨等級 (ISO 國際標準）
各粒徑檔最大容（róng）許粒子濃度 （顆（kē）/m3）
ISO等級 0.1um 0.2um 0.3um
1 10 2
2 100 24 10 4
3 1，
4 10，000 2，370 1，020 32 83
5 100，000 23，700 10，
6 1，000，000 237，000 102
空氣潔（jié）淨度應按下表規（guī）定劃分為四個等級。
空氣潔淨度等級表
等級（jí）
每立方米（每升）空氣中
≥0.5微（wēi）米塵粒數
每立方米（每升）空氣（qì）中
≥5微米塵粒數
100級（jí）
≤35×100(3.5)
1000級
≤35×1000(35)
≤2500(0.25)
10000級
≤35×10000(350)
≤25000(2.5)
100000級
≤35×100000(3500)
≤25000(25)
注（zhù）：對於空氣潔淨度（dù）為100級的潔淨室內大於等於5微（wēi）米塵粒的計算應進行多次采樣（yàng）。當其多次出現時，方可認為該測試數值是可*的。
13應用範圍
淨化工程是一個應用行業非常廣泛的基礎（chǔ）性配套產業，在電子信息（xī）、半導（dǎo）體、光電子、精密製造、醫藥衛生、生物工程、航天航空、汽車噴塗等眾（zhòng）多行（háng）業均有應用，並根據行（háng）業的（de）精密與無塵要求，等級差別也較（jiào）大。
目前級別（bié）最高的當（dāng）屬航天航空的航（háng）空倉，基（jī）本是屬於1級，屬於特殊領域，麵積相對較小。
另外對級別（bié）要求較高的是生（shēng）物化學實驗室和高精納米材料生（shēng）產車間，互聯網芯片的發展將是未來需求的一大方（fāng）向。
14八大特點
第一點，采用（yòng）更適合潔（jié）淨室原理的（de）圓弧轉角；
第二點，係統自動控製運行，雙（shuāng）門電（diàn）子互（hù）鎖，並設有光電感應器，單向（xiàng）通道風（fēng）淋室，從非潔（jié）淨區進入，關門後紅外線感（gǎn）應有人就吹淋，吹淋（lín）後入門鎖閉，隻能從出門走出風淋室；
第三點，整體冷軋鋼板製作，外表麵靜電噴塑處理；
第四點，門、底板、噴嘴均采用不鏽鋼製造，美觀大方；
第五點，軟鍵觸按式時間繼電器（qì），LED顯示（shì）及設置吹淋時間，範圍在10-99s可調（diào），吹淋時雙門自動鎖閉；
第六點，采用初、高效（xiào）兩級過（guò）濾係統，有隔板高效過（guò）濾器（qì），過濾效率為：99.99%，確保（bǎo）淨（jìng）化級別；
第七點，風嘴（zuǐ）出風口風速高達25m/s以上，吹到人體上風速18m/s以（yǐ）上；
第八（bā）點，采用EVA密封材料，密閉性能高。
15人員規範
為了（le）避免和減少潔淨室從業人員對潔淨室造成的汙染。任何潔淨室工作（zuò）以外的人員，在與潔淨室工作人員捷（jié）星接觸談話時，要將自己背對過去，因為口鼻會向注視的（de）方（fāng）興散發汙染。
做到口鼻不對潔淨室的工作區。
如果出現咳嗽或者打噴（pēn）嚏的情況，要做到（dào）背對潔淨室的工作區用手套掩住，然後及時更換（huàn）手套。情況嚴重的者應立即離開潔淨室區（qū）域，並向領導報告。
潔淨室內不得放置於潔淨（jìng）室工作無關的物品。潔淨室工作（zuò）物品要排放有序。
當設備不能正常運轉的時候，不要私自維修，要向（xiàng）領導報告，等專業人員對潔淨室（shì）進行維修。
另外，由（yóu）於潔淨室對潔淨（jìng）度有著過高（gāo）的要求。因此（cǐ），對潔淨室的工（gōng）作人員的身體方麵的狀況要求是很嚴格的。
患有呼吸道疾病的人，由於會對潔（jié）淨室的空氣造成汙染，故不能進（jìn）入潔淨室工作
患有結膜炎或者其（qí）他產生分泌物的病症，或者患有皮膚類疾病的人員都是不適合在潔淨室工作（zuò）的。
另外需要注意的，潔淨室的工作（zuò）人員要對自己的口腔衛生，保持注意。潔淨室工作人員要定期的進行身（shēn）體健康狀況的檢查
16運行節能
●潔淨室送（sòng）風、排風、新風之間應切換自如，如生產停止、排風（fēng）櫃也（yě）應停止或減小風量，新風也應調小（xiǎo）。
●工藝並非絕對要求值班風機運（yùn）行保護的，應采用提前開機自淨的辦法（fǎ）。
●潔淨室通風機轉速使其壓頭可以控製，不要總處於最大（dà）壓頭或最大風量運行的工況。
●運（yùn）行應最大限度地利用室外空氣冷卻作用，並（bìng）在此（cǐ）時增大（dà）新風比。
●潔淨室（shì）應根據室外氣象條件變化，通過（guò）自控或手控即（jí）能調整（zhěng）設備出力。
●縮小潔淨空間體積，如潔淨（jìng）隧（suì）道或隧道式潔淨室（shì），根據生產要求把潔淨空間劃分為潔淨度（dù）級別不同的工藝區、操作區、維修區和通（tōng）道區。